1.

国際会議録
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1. Local defect real-time monitor system in lithography
Chen,H.-C. ; Lin,T.-Y. ; Chu,Y.-C. ; Hung,C.-C.
出版情報: Device and process technologies for MEMS and microelectronics : 27-29 October 1999, Royal Pines Resort, Queensland, Australia.  pp.289-295,  1999.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3892
2.

国際会議録
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2. Embedded wavelet video coding with error concealment
Chang,P.-C. ; Chen,H.-C. ; Lu,T.-T.
出版情報: Image and video communications and processing 2000 : 25-28 January 2000, San Jose, California.  pp.161-170,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3974
3.

国際会議録
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3. Novel negative photoresist process for 0.18-μm dual damascene
Shiu,L.-H. ; Lai,C.-M. ; Liang,F.-J. ; Chen,H.-C. ; Chen,L.-J. ; Chou,S.-Y.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XVIII.  4345  pp.592-600,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4345
4.

国際会議録
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4. Polyimide defect reduction
Chen,S.-S. ; Chen,H.-C. ; Kuo,C.-C.
出版情報: Process, Equipment, and Materials Control in Integrated Circuit Manufacturing IV.  pp.261-271,  1998.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3507