1.

国際会議録
国際会議録
1. CORROSIVE BEHAVIOR OF TUNGSTEN IN POST-ETCH RESIDUE REMOVER
Zhang, H. ; Chen, B.H. ; Ye, J.H. ; Chooi, S.Y.M. ; Cha, R. ; Cha, L.
出版情報: Cleaning technology semiconductor device manufacturing : proceedings of the seventh international symposium.  pp.295-302,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-26
2.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
2. Orbital Transfer Vehicle Oxygen Turbopump Technology : Final Report,Volume II-nitrogen and Amibient Oxygen Testing
Brannam, R.J. ; Buckmann, P.S. ; Chen, B.H. ; Church, S.J. ; Saviers,R.L
出版情報: NASA Technical Reports.  (NASA-CR-185262),  pp.1-158,  1990.  National Aeronautics and Space Adminstration