1.

国際会議録

国際会議録
de Caunes, J. ; Van-Herk, J. ; Warrick, S. ; Le Gratiet, B. ; Mikolajczak, M. ; Chapon, J.-D. ; Monget, C. ; Gemmink, J.-W.
出版情報: Data analysis and modeling for process control III : 23 February, 2006, San Jose, California, USA.  pp.615507-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6155
2.

国際会議録

国際会議録
Chapon, J.-D. ; Chaton, C. ; Gouraud, P. ; Broekaart, M. ; Warrick, S. ; Guilmeau, I. ; Trauiller, Y. ; Belledent, J.
出版情報: Advances in resist technology and processing XXII : 28 February-2 March, 2005, San Jose, California, USA.  pp.95-101,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5753(1)
3.

国際会議録

国際会議録
Guilmeau, I.D. ; Guerrero, A.F. ; Blain, V. ; Kremer, S. ; Vachellerie, V. ; Lenoble, D. ; Nogueira, P. ; Mougel, S. ; Chapon, J.-D.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.461-470,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
4.

国際会議録

国際会議録
Belledent, J. ; Word, J. ; Trouiller, Y. ; Couderc, C. ; Miramond, C. ; Toublan, O. ; Chapon, J.-D. ; Baron, S. ; Borjon, A. ; Foussadier, F. ; Gardin, C. ; Lucas, K. ; Patterson, K. ; Rody, Y. ; Sundermann, F.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XII.  pp.202-210,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5853