1.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
1. Canadian Engine/Fuel Studies for Medium Speed Diesels
Chan,D.Y. ; Webster,G.D. ; Whyte,R.B.
出版情報: Engine-fuel interaction : development of marine and navy fuels.  pp.43-46,  1986.  "Society of Automotive Engineering, Inc."
シリーズ名: SAE special publication
シリーズ巻号: SP-667
2.

国際会議録
国際会議録
2. 100-nm node lithography with KrF?
Ferri,J.E. ; Tyrrell,B. ; Astolfi,D.K. ; Yost,D. ; Davis,P. ; Wheeler,B. ; Mallen,R. ; Jarmolowicz,J. ; Cann,S.G. ; Liu,H.Y. ; Ma,M. ; Chan,D.Y. ; Rhyins,P.D. ; Carney,C. ; Ferri,J.E. ; Blachowicz,B.A.
出版情報: Optical Microlithography XIV.  4346  pp.191-204,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4346
3.

国際会議録
国際会議録
3. Investigation of full-field CD control of sub-100-nm gate features by phase-shift 248-nm lithography
Fritze,M. ; Tyrrell,B. ; Astolfi,D.K. ; Davis,P. ; Wheeler,B. ; Mallen,R. ; Jarmolowicz,J. ; Cann,S.G. ; Chan,D.Y. ; Rhyins,P.D. ; Mastovich,M.E. ; Sullivan,N.T. ; Brandom,R. ; Carney,C. ; Fritze,M. ; Blachowicz,B.A.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XV.  pp.334-343,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4344