1.

国際会議録
国際会議録
1. Metrology automation reliability
Chain,E.E.
出版情報: Microelectronic Manufacturing Yield, Reliability, and Failure Analysis II.  pp.42-52,  1996.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 2874
2.

国際会議録
国際会議録
2. In-line electrical probe for CD metrology
Chain,E.E. ; Griswold,M.D.
出版情報: Process, Equipment, and Materials Control in Integrated Circuit Manufacturing II.  pp.135-146,  1996.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 2876
3.

国際会議録
国際会議録
3. Submicron calibration strategy for CD control
Chain,E.E. ; Kulkens,L. ; Harris,T.A.
出版情報: Process, Equipment, and Materials Control in Integrated Circuit Manufacturing II.  pp.250-256,  1996.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 2876
4.

国際会議録
国際会議録
4. SPC qualification strategy for CD metrology
Chain,E.E. ; Ridens,M.G. ; Annand,J.P.
出版情報: Process, Equipment, and Materials Control in Integrated Circuit Manufacturing II.  pp.218-224,  1996.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 2876
5.

国際会議録
国際会議録
5. Control of polysilicon on-film particulates with on-product measurements
Barker,J.A. ; Chain,E.E. ; Plachecki,V.E.
出版情報: Process, Equipment, and Materials Control in Integrated Circuit Manufacturing III.  pp.12-17,  1997.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3213