1.

国際会議録
国際会議録
1. Corrosion Suppression During Wet Processes in FEOL and BEOL for 45nm Node and Beyond
H. Aoki ; D. Watanabe ; S. Hotta ; C. Kimura ; T. Sugino
出版情報: Cleaning and surface conditioning technology in semiconductor device manufacturing 10.  pp.19-30,  2007.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 11(2)
2.

国際会議録
国際会議録
2. Evaluation of Solid Ammonium Formate Oxidation for PEM Fuel Cells
K. Ohyama ; C. Kimura ; H. Aoki ; S. Kuwabata ; T. Sugino
出版情報: Proton exchange membrane fuel cells 7.  pp.1473-1478,  2007.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 11(1)
3.

国際会議録
国際会議録
3. High Rate Etching of Ru and TaN using Electrochemical Reaction for Bevel Cleaning
H. Aoki ; D. Watanabe ; N. Ooi ; J. Jeong ; C. Kimura
出版情報: Copper Interconnects, New Contact Metallurgies/Structures, and Low-k Inter-level Dielectrics, at 214th ECS Meeting, October 12-17, 2008, Honolulu, Hawaii, USA.  pp.9-14,  2009.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 16(19)
4.

国際会議録
国際会議録
4. Improvement of Anode Oxidation Reaction of a Fuel Cell using Ammonium Formate with Pt-Pd Catalysts
H. Aoki ; T. Nitta ; S. Kuwabata ; C. Kimura ; T. Sugino
出版情報: Proton exchange membrane fuel cells 8.  pp.849-853,  2008.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 16(2)
5.

国際会議録
国際会議録
5. Characterization of Lanthanoid and Aluminum Based Oxide Film for Wide Bandgap Semiconductors
H. Aoki ; N. Komatsu ; M. Honjo ; K. Masumoto ; C. Kimura
出版情報: THERMEC 2009, 6th International Conference on PROCESSING & MANUFACTURING OF ADVANCED MATERIALS, Berlin, Germany, August 25-29, 2009.  pp.3943-3948,  2010.  Aedermannsdorf, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 638-642
6.

国際会議録
国際会議録
6. A methyl BN film by using tris-di-methyl-amino-boron (TMAB) for future low-K interlayer
H. Aoki ; S. Tokuyama ; M. K. Mazumder ; D. Watanabe ; C. Kimura
出版情報: Sixth International Conference on Thin Film Physics and Applications : 25-28 September 2007, Shanghai, China.  pp.69841W-1-69841W-6,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6984
7.

国際会議録
国際会議録
7. Surface properties and field emission of BN and BCN films
T. Sugino ; C. Kimura ; H. Aoki
出版情報: Sixth International Conference on Thin Film Physics and Applications : 25-28 September 2007, Shanghai, China.  pp.698434-1-698434-6,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6984