1.

国際会議録

国際会議録
Ehrmann,A. ; Struck,T. ; Kaesmaier,R. ; Haugeneder,E. ; Loschner,H. ; Butschke,J. ; Letzkus,F. ; Irmscher,M. ; Springer,R. ; Engelstad,R.L.
出版情報: 19th Annual Symposium on Photomask Technology : 15-17 September 1999, Monterey, California.  Part2  pp.822-830,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3873
2.

国際会議録

国際会議録
Butschke,J. ; Ehrmann,A. ; Haugeneder,E. ; Irmscher,M. ; Kasmaier,R. ; Kragler,K. ; Letzkus,F. ; Loschner,H. ; Mathuni,J. ; Rangelow,I.W. ; Reuter,C. ; Shi,F. ; Springer,R.
出版情報: 15th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents '98 : 16-17 November 1998, Munich-Unterhaching, Germany.  pp.20-29,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3665
3.

国際会議録

国際会議録
Kamm,F.-M. ; Ehrmann,A. ; Struck,T. ; Kragler,K. ; Butschke,J. ; Letzkus,F. ; Springer,R. ; Haugeneder,E. ; Degen,A. ; Voigt,J. ; Kratzenberg,M. ; Rangelow,I.W.
出版情報: 17th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents.  pp.18-22,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4349
4.

国際会議録

国際会議録
Degen,A. ; Voigt,J. ; Kratzenberg,M. ; Shi,F. ; Butschke,J. ; Loschner,H. ; Kaesmaier,R. ; Ehrmann,A. ; Rangelow,I.W.
出版情報: Emerging lithographic technologies IV : 28 February-1 March 2000, Santa Clara, USA.  pp.395-404,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3997
5.

国際会議録

国際会議録
Irmscher,M. ; Butschke,J. ; Elian,K. ; Hoefflinger,B. ; Kragler,K. ; Letzkus,F. ; Ochsenhirt,J. ; Reuter,C. ; Springer,R.
出版情報: Emerging lithographic technologies IV : 28 February-1 March 2000, Santa Clara, USA.  pp.362-372,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3997
6.

国際会議録

国際会議録
Ehrmann,A. ; Elsner,A. ; Liebe,R. ; Struck,T. ; Butschke,J. ; Letzkus,F. ; Irmscher,M. ; Springer,R. ; Haugeneder,E. ; Loschner,H.
出版情報: Emerging lithographic technologies IV : 28 February-1 March 2000, Santa Clara, USA.  pp.373-384,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3997
7.

国際会議録

国際会議録
Ehrmann,A. ; Struck,T. ; Haugeneder,E. ; Loschner,H. ; Butschke,J. ; Letzkus,F. ; Irmscher,M. ; Springer,R.
出版情報: Emerging lithographic technologies IV : 28 February-1 March 2000, Santa Clara, USA.  pp.385-394,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3997
8.

国際会議録

国際会議録
Ochsenhirt,J. ; Butschke,J. ; Letzkus,F. ; Hofflinger,B. ; lrmscher,M. ; Reuter,C. ; Springer,R. ; Elian,K.
出版情報: 16th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents : 15-16 November 1999, Munich, Germany.  pp.80-89,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3996
9.

国際会議録

国際会議録
Ehrmann,A. ; Huber,S. ; Kasmaier,R. ; Oelmann,A.B. ; Struck,T. ; Springer,R. ; Butschke,J. ; Letzkus,F. ; Kragler,K. ; Loschner,H. ; Rangelow,I.W.
出版情報: 18th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology and Management.  pp.194-205,  1998.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3546