1.

国際会議録
国際会議録
1. Modeling Inductively Coupled Plasma Tools with Chlorine Chemistry
Bukowski, J.D. ; Stewart, R. A. ; Graves, D.B. ; Vitello, P.
出版情報: Proceedings of the tenth symposium on plasma processing.  pp.87-96,  1994.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 1994-20
2.

国際会議録
国際会議録
2. Modeling of Pulsed-Power Inductively Coupled Plasma Reactors
Bukowski, J.D. ; Stewart, R.A. ; Graves, D.B. ; Vitello, P.
出版情報: Proceedings of the Symposium on Process control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing.  pp.564-574,  1995.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 95-2