1.

国際会議録

国際会議録
Brozek, T.
出版情報: Proceedings of the twelfth International Symposium on Plasma Processing.  pp.22-28,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-4
2.

国際会議録

国際会議録
Brozek, T. ; Chan, Y. D. ; Viswanathan, C. R.
出版情報: Materials reliability in microelectronics VI : symposium held April 8-12, 1996, San Francisco, California, U.S.A..  pp.317-,  1996.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 428
3.

国際会議録

国際会議録
Ridley, R.S. ; Brozek, T. ; Ruzyllo, J.
出版情報: ULSI science and technology, 1995 : proceedings of the Fifth International Symposium on Ultra Large Scale Integration Science and Technology.  pp.436-443,  1995.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 95-5