1.

国際会議録
国際会議録
1. LASER-EXCITED FLOURESCENCE DETECTION OF Si2 DURING SILANE CVD
Breiland, W. G. ; Coltrin, M. E. ; Ho, P.
出版情報: Laser-controlled chemical processing of surfaces : symposium held November 1983 in Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.225-230,  1984.  New York.  North-Holland
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 29
2.

国際会議録
国際会議録
2. SPECTRAL REFLECTANCE AS AN IN SITU MONITOR FOR MOCVD
Breiland, W. G. ; Killeen, K. P.
出版情報: Diagnostic techniques for semiconductor materials processing : Symposium held November 29-December 2, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.99-,  1994.  Pittsburgh.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 324