1.
国際会議録
Koh, C.-W. ; Kim, J.-S. ; Choi, C.-I. ; Eom, T.-S. ; Kwon, W.-T. ; Jung, J.-C. ; Bok, C.-K. ; Shin, K.-S.
出版情報:
Advances in Resist Technology and Processing XIX . Part Two pp.793-798, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4690
2.
国際会議録
Eom, T.-S. ; Ahn, C.-N. ; Park, D.-H. ; Koh, C.-W. ; Bok, C.-K.
出版情報:
Optical Microlithography XV . Part Two pp.1575-1583, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4691
3.
国際会議録
Kim, S.-K. ; Bok, C.-K. ; Shin, K.-S.
出版情報:
Optical Microlithography XV . Part Two pp.1504-1512, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4691
4.
国際会議録
You, T.-J. ; Bok, C.-K. ; Shin, K.-S.
出版情報:
Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVI . Part Two pp.724-732, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4689