1.

国際会議録
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1. AN INVESTIGATION OF IN SITU CHLORINATION OF TUNGSTEN
Thomas, N. ; Blanquet, E. ; Vahlas, C. ; Bernard, C. ; Madar, R.
出版情報: Chemical perspectives of microelectronic materials II : symposium held November 26-28, 1990, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.451-456,  1991.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 204
2.

国際会議録
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2. Processing of Poly-SiC Substrates with Large Grains for Wafer-Bonding
Chichignoud, G. ; Auvray, L. ; Blanquet, E. ; Anikin, M. ; Pernot, E. ; Bluet, J.M. ; Chaudouet, P. ; Mermoux, M. ; Moisson, C. ; Letertre, F. ; Pons, M. ; Madar, R.
出版情報: Silicon carbide and related materials - 2005 : proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials - 2005 : Pittsburgh, Pennsylvania, USA : September 18-23 2005.  pp.71-74,  2006.  Stafa-Zuerich.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 527-529
3.

国際会議録
国際会議録
3. Macroscopic Modeling for Vapor Deposition Processes: From Purely Thermodynamic to Coupled Heat/Mss Transfer - Thermodynamic Models
Blanquet, E. ; Pons, M. ; Bernard, C. ; Madar, R.
出版情報: Proceedings of the Symposium on Fundamental Gas-phase and Surface Chemistry of Vapor-phase Materials Synthesis.  pp.352-357,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-23
4.

国際会議録
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4. Macroscopic and Microscopic Investigations on the LPCVD Fabrication of Silicon Nanodots on Oxidized Silicon Wafers
Blanquet, E. ; Donnadieu, P. ; Schouler, M.-C. ; Simon, J.-P. ; Maret, M. ; Pons, M. ; Cocheteau, V. ; Caussat, B. ; Scheid, E. ; Mur, P. ; Semeria, M.-N.
出版情報: Chemical vapor deposition XVI and EUROCVD 14 : proceedings of the international symposium.  pp.1064-1071,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-8
5.

国際会議録
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5. Ion Beam Analysis of Ternary Suicides Me-Si-N (Me=Re,Ta,Ti,W) Thin Films Used as Diffusion Barriers in Advanced Metallization
Somatri-Bouamrane, R. ; Chevarier, N. ; Chevarier, A. ; Dutron, A.M. ; Blanquet, E. ; Madar, R.
出版情報: Chemical vapor deposition : proceedings of the Fourteenth International Conference and EUROCVD-11.  pp.741-748,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-25
6.

国際会議録
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6. TiN and (Ti 1-x AI x)N Films Obtained by a Low Pressure Chemical Vapor Deposition Process
Anderbouhr, S. ; Blanquet, E. ; Ghetta, V. ; Bernard, C.
出版情報: Chemical vapor deposition : proceedings of the Fourteenth International Conference and EUROCVD-11.  pp.356-363,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-25
7.

国際会議録
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7. Defect Formation and Macroscopic Modelling of Silicon Carbide Sublimation Process
Pons, M. ; Blanquet, E. ; Bernard, C. ; Dedulle, J.M. ; Anikin, M. ; Chourou, K. ; Madar, R.
出版情報: Chemical vapor deposition : proceedings of the Fourteenth International Conference and EUROCVD-11.  pp.262-269,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-25
8.

国際会議録
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8. Thermodynamic Modeling of Silicon LPCVD Revisited with Kinetic Data
Blanquet, E. ; Vablas, C.
出版情報: Proceedings of the Symposium on Fundamental Gas-phase and Surface Chemistry of Vapor-phase Materials Synthesis.  pp.246-251,  1998.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 98-23
9.

国際会議録
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9. Different Applications of the CVD Thermodynamic Simulations in the Ti-Si-N System: Oxidation and Microelectronics Materials
Blanquet, E. ; Dutron, A.M. ; Bernard, C. ; Llauro, G. ; Hillel, G.
出版情報: Chemical vapor deposition : proceedings of the Fourteenth International Conference and EUROCVD-11.  pp.23-30,  1997.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 97-25
10.

国際会議録
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10. Diffusion Barriers for Copper Metallization: Predicting Phase Stability and Reactivity Using Equilibrium Thermodynamics
Ramberg, C. E. ; Blanquet, E. ; Pons, M. ; Ghetta, V. ; Bernard, C. ; Madar, R.
出版情報: Advanced interconnects and contacts : symposium held April 5-7, 1999, San Francisco, California, U.S.A..  pp.299-,  1999.  Warrendale, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 564