1.

国際会議録
国際会議録
1. New design methodologies in<III>-oriented silicon wafers
Oosterbroek,R.E. ; Berenschot,J.W. ; Nijdam,A.J. ; Pandraud,G. ; Elwenspoek,M.C. ; Berg,A.van den
出版情報: Micromachining and microfabrication process technology V : 20-22 September, 1999, Santa Clara, California.  pp.384-394,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3874
2.

国際会議録
国際会議録
2. Toward thermal flow-sensing with pL/s resolution
Tas,N.R. ; Lammerink,T.s.J. ; Leussink,P.J. ; Berenschot,J.W. ; Bree,H.-E.de ; Elwenspoek,M.C.
出版情報: Micromachined Devices and Components VI.  pp.106-121,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4176
3.

国際会議録
国際会議録
3. High-force 10-kN piezoresistive silicon force sensor with output independent of force distribution
Zwijze,R.A.F. ; Wiegerink,R.J. ; Krijnen,G.J.M. ; Berenschot,J.W. ; Boer,M.J.de ; Elwenspoek,M.C.
出版情報: Micromachined Devices and Components VI.  pp.47-58,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4176