1.

国際会議録

国際会議録
McCann, J. J. ; Benton, J. L. ; McKee, S. P.
出版情報: Human vision and electronic imaging VII : 21-24 January 2002, San Jose, USA.  pp.324-330,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4662
2.

国際会議録

国際会議録
Benton, J. L. ; Asom, M. T. ; Sauer, R. ; Kimerling, L. C.
出版情報: Defects in electronic materials : symposium held November 30-December 3, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.85-92,  1988.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 104
3.

国際会議録

国際会議録
Benton, J. L.
出版情報: Defect engineering in semiconductor growth, processing and device technology : symposium held April 26-May 1, 1992, San Francisco, California, U.S.A..  pp.1027-1036,  1992.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 262
4.

国際会議録

国際会議録
Benton, J. L. ; Levinson, M.
出版情報: Defects in semiconductors II : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.95-100,  1983.  New York.  North-Holland
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 14
5.

国際会議録

国際会議録
Libertino, S. ; Benton, J. L. ; Coffa, S. ; Jacobson, D. C. ; Eaglesham, D. J. ; Poate, J. M. ; Lavalle, M. ; Fuochi, P. G.
出版情報: Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.187-,  1997.  Pittsburg, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 469
6.

国際会議録

国際会議録
Saito, S. ; Hamada, K. ; Eaglesham, D. J. ; Shiramizu, Y. ; Benton, J. L. ; Kitajima, H. ; Jacobson, S. D. C. ; Poate, J. M.
出版情報: Science and technology of semiconductor surface preparation : symposium held April 1-3, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.81-,  1997.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 477
7.

国際会議録

国際会議録
Benton, J. L. ; Libertino, S. ; Coffa, S. ; Eaglesham, D. J.
出版情報: Defects and diffusion in silicon processing : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.193-,  1997.  Pittsburg, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 469
8.

国際会議録

国際会議録
Zhao, S. ; Agarwal, A. M. ; Benton, J. L. ; Gilmer, G. H. ; Kimerling, L. C.
出版情報: Defects in electronic materials II : symposium held December 2-6, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.231-,  1997.  Pittsburgh, Penn.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 442
9.

国際会議録

国際会議録
Boone, T. ; Higashi, G. S. ; Benton, J. L. ; Kistler, R. C. ; Weber, G. R. ; Keller, R. C. ; Makris, G.
出版情報: Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing.  pp.359-,  1993.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 315
10.

国際会議録

国際会議録
Benton, J. L. ; Boone, T. ; Jacobson, D.C. ; Lin, Wen ; Wilk, G.D. ; Krautter, H. W. ; Rosamilia, J.M. ; Rafferty, C.S.
出版情報: Crystalline defects and contamination: their impact and control in device manufacturing III : DECON 2001 : proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 2001, Nuremberg, Germany.  pp.181-191,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-29