1.

国際会議録
国際会議録
1. ON THE ADHESION OF LPCVD WSi2 TO DOPED AND UNDOPED POLYSILICON
Shenai, K. ; Piacente, P.A. ; Lewis, N. ; McConnell, M.D. ; Smith, G.A. ; Baliga, B.J.
出版情報: Adhesion in solids : symposium held April 5-7, 1988, Reno, Nevada, U.S.A..  pp.177-184,  1988.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 119
2.

国際会議録
国際会議録
2. THE EFFECT OF DOPING ON THE GRAIN STRUCTURE OF AS-DEPOSITED AND HIGH-TEMPERATURE ANNEALED LPCVD WSi2 FILMS ON POLYSILICON
Lewis, N. ; Shenai, K. ; Smith, G.A. ; Piacente, P.A. ; Baliga, B.J.
出版情報: Characterization of the structure and chemistry of defects in materials : symposium held November 28-December 3, 1988, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.421-426,  1989.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 138
3.

国際会議録
国際会議録
3. EFFECT OF ION BOMBARDMENT ON THE DOPANT DIFFUSION DURING REACTIVE ION ETCHING (RIE) OF DIELECTRIC FILMS DEPOSITED ON SILICON
Shenai, K. ; Lewis, N. ; Smith, G.A. ; Baliga, B.J.
出版情報: Processing and characterization of materials using ion beams : symposium held November 28-December 2, 1988, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.731-736,  1989.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 128