1.

国際会議録
国際会議録
1. Deep Reactive Ion Etching of Silicon
Ayon, A.A. ; Chen, K-S. ; Lohner, K.A. ; Spearing, S.M. ; Sawin, H.H. ; Schmidt, M.A.
出版情報: Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices : symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.51-62,  1999.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 546
2.

国際会議録
国際会議録
2. Microfabricated Silicon Carbide Microengine Structures
Lohner, K.A. ; Chen, K-S. ; Ayon, A.A. ; Spearing, S.M.
出版情報: Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices : symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.85-91,  1999.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 546
3.

国際会議録
国際会議録
3. Dependence of Silicon Fracture Strength and Surface Morphology on Deep Reactive Ion Etching Parameters
Chen, K-S. ; Ayon, A.A. ; Lohner, K.A. ; Kepets, M.A. ; Melconian, T.K. ; Spearing, S.M.
出版情報: Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices : symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.21-26,  1999.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 546
4.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
4. A performance evaluation of MEMS-based micronozzles
Bayt, R.L. ; Ayon, A.A. ; Breuer, K.S.
出版情報: AIAA paper.  pp.1-10,  1997.  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA/ASME/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference and Exhibit
シリーズ巻号: 1997