1.

国際会議録

国際会議録
Ashruf,C.M.A. ; French,P.J. ; de Boer,C. ; Sarro,P.M.
出版情報: Micromachining and microfabrication process technology III : 29-30 September, 1997, Austin, Texas.  pp.149-159,  1997.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3223
2.

国際会議録

国際会議録
Ashruf,C.M.A. ; French,P.J. ; Sarro,P.M. ; Kelly,J.J.
出版情報: Micromachining and microfabrication process technology IV : 21-22 September, 1998, Santa Clara, California.  pp.82-87,  1998.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3511