1.

国際会議録

国際会議録
Vasanth, K. ; Apte, P. ; Davis, J. ; Saxena, S. ; Burch, R. ; Rao, S. ; Mozumder, P. K.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing VII : symposium held April 13-15, 1998, San Francisco, California, U.S.A..  pp.325-,  1998.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 525
2.

国際会議録

国際会議録
Vasanth, K. ; Apte, P. ; Davis, J. ; Saxena, S. ; Burch, R. ; Rao, S. ; Mozumder, P. K.
出版情報: Advanced interconnects and contact materials and processes for future integrated circuits : symposium held April 13-16, 1998, San Francisco, California, U.S.A..  pp.253-,  1998.  Warrendale, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 514