1.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
1. Conceptual design of the cooling system for 1700｡?C-class hydrogen-fueled combustion gas turbines
Kizuka, N. ; Sagae, K. ; Anzai, S. ; Marushima, S. ; Ikeguchi, T. ; Kawaike, K.
出版情報: A.S.M.E. paper.  1998.  New York.  The American Society of Mechanical Engineers
シリーズ名: ASME Technical Paper : GT
シリーズ巻号: 1998
2.

国際会議録
国際会議録
2. Improvement of critical dimension stability of chemically amplified resist by overcoat II
Kumada, T. ; Tange, K. ; Maetoko, K. ; Hosono, K. ; Tsuzuki, M. ; Yonetani, K. ; Terada, R. ; Nakashiba, Y. ; Anzai, S. ; Kikuchi, Y.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology X.  pp.101-106,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5130
3.

国際会議録
国際会議録
3. Sulfate-free photomask cleaning technology [6283-08]
Anzai, S. ; Takagi, N. ; Kamiyama, T ; Kawaguchi, N. ; Ishijima, A. ; Watanabe, T. ; Morimoto, T. ; Kuwajima, T. ; Nakatsu, M. ; Hasegawa, S.
出版情報: Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology XIII.  pp.62830B-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6283