1.
国際会議録
Kwon, S.-W. ; Jeong, H.-S. ; Kim, L.-J. ; Ahn, C.-N. ; Kim, H.-S.
出版情報:
Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology X . pp.796-803, 2003. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5130
2.
国際会議録
Chang, B. -S. ; Chang, Y. -Y. ; Bang, S. -H. ; Lee, I. -S. ; Kim, L. -J. ; Ahn, C.-N. ; Kim, H. -S.
出版情報:
25th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology . pp.59923Q-, 2005. Bellingham, Wash.. SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5992
3.
国際会議録
Bok, C.K. ; Kim, S.-K. ; Kim, H.-B. ; Oh, J.-S. ; Ahn, C.-N. ; Shin, K.-S.
出版情報:
Optical Microlithography XV . Part Two pp.810-821, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4691
4.
国際会議録
Eom, T.-S. ; Ahn, C.-N. ; Park, D.-H. ; Koh, C.-W. ; Bok, C.-K.
出版情報:
Optical Microlithography XV . Part Two pp.1575-1583, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4691
5.
国際会議録
Kim, H.-B. ; Ma, W.-K. ; Ahn, C.-N. ; Shin, K.-S.
出版情報:
Optical Microlithography XV . Part Two pp.1278-1286, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4691
6.
国際会議録
Lim, C.-M. ; Song, J.-H. ; Woo, S.-S. ; Kwon, K.-S. ; Ahn, C.-N. ; Shin, K.-S.
出版情報:
Optical Microlithography XV . Part Two pp.1412-1420, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4691
7.
国際会議録
Oh, S.-Y. ; Kim, W.-H. ; Yune, H.-S. ; Kim, H.-B. ; Kim, S.-M. ; Ahn, C.-N. ; Shin, K.-S.
出版情報:
Optical Microlithography XV . Part Two pp.1537-1543, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4691
8.
国際会議録
Nam, K.-H. ; Cho, H.-J. ; Jeong, S.-H. ; Ahn, C.-N. ; Kim, H.-S.
出版情報:
Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology X . pp.197-204, 2003. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5130