1.

国際会議録

国際会議録
Abiade, J.T. ; Yeruva, S. ; Moudgil, B. ; Kumar, D. ; Singh, R.K.
出版情報: Chemical-mechanical planarization - integration technology and realiability : symposium held March 28-31, 2005, San Francisco, California, U.S.A..  pp.69-74,  2005.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 867
2.

国際会議録

国際会議録
Abiade, J.T. ; Choi, W. ; Khosla, V. ; Singh, R.K.
出版情報: Advances in chemical-mechanical polishing : symposium held April 13-15, 2004, San Francisco, California, U.S.A..  pp.283-288,  2004.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 816