1.

国際会議録

国際会議録
A. Chen ; S. Hansen ; M. Moers ; J. Shieh ; A. Engelen ; K. van I. Schenau ; S. Tseng
出版情報: Optical microlithography XX.  2007.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6520
2.

国際会議録

国際会議録
E. van Setten ; A. Engelen ; J. Finders ; M. Dusa
出版情報: EMLC 2007 : 23rd european mask and lithography conference : 22-25 January 2007, Grenoble, France.  2007.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6533
3.

国際会議録

国際会議録
M. van de Kerkhof ; E. van Setten ; A. Engelen ; V. Plachecki ; H. Liu
出版情報: Optical Microlithography XXI.  2  pp.69241W-1-69241W-13,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6924
4.

国際会議録

国際会議録
A. Chen ; S. Hansen ; M. Moers ; J. Shieh ; A. Engelen
出版情報: Quantum optics, optical data storage, and advanced microlithography : 12-14 November 2007, Beijing, China.  pp.68271O-1-68271O-12,  2008.  Bellingham, Wash..  Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6827