1.

国際会議録

国際会議録
Zhao, S. ; Macliala, C.F. ; Chang, M-C.
出版情報: Proceedings of the Fifth International Symposium of Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology.  pp.108-115,  1999.  Pennington, New Jersey.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-2
2.

国際会議録

国際会議録
Peng, H. J. ; Wong, S. P. ; Lau, W. F. ; Ke, N. ; Zhao, S.
出版情報: Materials reliability in microelectronics IX : symposium held April 6-8, 1999, San Francisco, California, U.S.A..  pp.303-,  1999.  Pittsburgh, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 563