1.

国際会議録

国際会議録
Zhang, Y. ; Stuke, M.
出版情報: Chemical perspectives of microelectronic materials : symposium held November 30-December 2, 1988, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.375-382,  1989.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 131
2.

国際会議録

国際会議録
Stuke, M. ; Zhang, Y. ; Kuper, S.
出版情報: Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, USA.  pp.139-150,  1988.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 101