1.

国際会議録
国際会議録
1. EFFECT OF RIE SEQUENCE AND POST-RIE SURFACE PROCESSING ON THE RELIABILITY OF GATE OXIDE lN A TRENCH
Grebs, T. ; Ridley, R. ; Chang, K. ; Wu, C.-T. ; Agarwal, R. ; Mytych, J. ; Dimachkie, W. ; Dolny, G. ; Michalowicz, J. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VIII : proceedings of the international symposium.  pp.108-115,  2003.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-26
2.

国際会議録
国際会議録
2. Design and fabrication of a movable O-shape microclamper
Wu, C.-T. ; Hsu, W.
出版情報: Device and process technologies for MEMS and Microelectronics II : 17-19 December 2001, Adelaide, Australia.  pp.497-502,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4592
3.

国際会議録
国際会議録
3. GAS-PHASE SURFACE CONDITIONING IN A HIGH-k GATE CLUSTER
Roman, P. ; Lee, D.-O. ; Wang, J. ; Wu, C.-T. ; Subramanian, V. ; Brubaker, M. ; Mumbauer, P. ; Grant, R. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Cleaning technology semiconductor device manufacturing : proceedings of the seventh international symposium.  pp.241-248,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-26
4.

国際会議録
国際会議録
4. ETCHING OF SILICON NATIVE OXIDE USING ULTR-SLOW MULTICHARGED Arq+ IONS
Le Roux, V. ; Machicoane, G. ; Borsoni, G. ; Korwin-Pawlowski, M. ; Bechu, N. ; Kerdiles, S. ; Laffitte, R. ; Valuer, L. ; Roman, P. ; Wu, C.-T. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Cleaning technology semiconductor device manufacturing : proceedings of the seventh international symposium.  pp.249-257,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-26
5.

国際会議録
国際会議録
5. Design and fabrication of a three-dimensional long-stretch micro drive by electroplating
Wu, C.-T. ; Tai, W.-C. ; Hsu, C.-P. ; Hsu, W.
出版情報: Smart Sensors, Actuators, and MEMS.  1  pp.295-302,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5116