1.

国際会議録

国際会議録
Bowden, M. ; Gardiner, D. J. ; Lourenco, M. A. ; Hedley, J. ; Wood, D. ; Burdess, J. S. ; Harris, A. J.
出版情報: Microelectromechanical structures for materials research : symposium held April 15-16, 1998 , San Francisco, California, U.S.A..  pp.239-,  1998.  Warrendale, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 518
2.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Cox, S. ; Beck, G. ; Cornwall, C. ; Davis, J. ; Hein, P. ; Lappen, C. ; Song, R. ; Withrow, J. ; Wood, D. ; Alvarez, J. ; Anikin, P.
出版情報: NASA Technical Reports.  (NASA-CR-193162),  pp.1-85,  1992.  National Aeronautics and Space Adminstration