1.
国際会議録
Hendrickx, E. ; Vandenberghe, G. ; Ronse, K.G. ; Colina, A. ; van der Hoff, A. ; Dusa, M.V. ; Finders, J.
出版情報:
22nd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology . Part Two pp.1155-1162, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4889
2.
国際会議録
Verhaegen, S. ; Vandenberghe, G. ; Jonckheere, R.M. ; Ronse, K.G.
出版情報:
22nd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology . Part One pp.197-208, 2002. Bellingham, WA. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4889
3.
国際会議録
Kim. Y.-C. ; Vandenberghe, G. ; Ronse, K.
出版情報:
Optical Microlithography XV . Part Two pp.1041-1053, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4691
4.
国際会議録
Montgomery, P.K. ; Vandenberghe, G. ; Lucas, K.
出版情報:
Optical Microlithography XV . Part Two pp.1613-1624, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4691
5.
国際会議録
Smith, B.W. ; Vandenberghe, G.
出版情報:
Optical Microlithography XV . Part Two pp.1500-1503, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4691
6.
国際会議録
Wiaux, V. ; Philipsen, V. ; Jonckheere, R. ; Vandenberghe, G. ; Verhaegen, S. ; Hoffmann, T. ; Ronse, K. ; Howard, W.B. ; Maurer, W. ; Preil, M.E.
出版情報:
Optical Microlithography XV . Part One pp.395-406, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4691