1.

国際会議録
国際会議録
1. High-power laser-plasma x-ray source for lithography
Gaeta, C.J. ; Rieger, H. ; Turcu, I.C.E. ; Forber, R.A. ; Cassidy, K.L. ; Campeau, S.M. ; Powers, M.J. ; Maldonado, J.R. ; Morris, J.H. ; Foster, R.M. ; Smith, H.I. ; Lim, M.H.
出版情報: Emerging Lithographic Technologies VI.  Part Two  pp.818-833,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4688
2.

国際会議録
国際会議録
2. The critical role of metrology in nanotechnology
Schattenburg, M.L. ; Smith, H.I.
出版情報: Nanostructure Science, Metrology, and Technology.  pp.116-124,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4608