1.

国際会議録
国際会議録
1. A Large Area Multi-Frequency Multi-Planar Coil Inductively Plas- ma Source
Yamada, N. ; Ventzek, P.L.G. ; Date, H. ; Sakai, Y. ; Tagashira, H.
出版情報: Proceedings of the eleventh International Symposium on Plasma Processing.  pp.126-136,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-12
2.

国際会議録
国際会議録
2. RF Atmospheric Pressure Glow Discharges for Naterial Processing
Miyashita, T. ; Sakai, K. ; Ventzak, P.L.G. ; Sakai, Y. ; Tagashira, H.
出版情報: Proceedings of the eleventh International Symposium on Plasma Processing.  pp.137-147,  1996.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-12