1.
国際会議録
Yamada, N. ; Ventzek, P.L.G. ; Date, H. ; Sakai, Y. ; Tagashira, H.
出版情報:
Proceedings of the eleventh International Symposium on Plasma Processing . pp.126-136, 1996. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
96-12
2.
国際会議録
Miyashita, T. ; Sakai, K. ; Ventzak, P.L.G. ; Sakai, Y. ; Tagashira, H.
出版情報:
Proceedings of the eleventh International Symposium on Plasma Processing . pp.137-147, 1996. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
96-12
3.
国際会議録
Yang, J. ; Yamada, N. ; Ventzek, P.L.G. ; Sakai, Y. ; Date, H. ; Tagashira, H. ; Kitamori, K.
出版情報:
Proceedings of the Second International Symposium on Process Control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing . pp.233-244, 1997. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
97-9
4.
国際会議録
Matsuguchi, M. ; Sakai, Y. ; Hirota, E. ; Kuroiwa, T. ; Obara, S. ; Ogura, T.
出版情報:
Chemical sensors IV : proceedings of the symposium . pp.420-428, 1999. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
99-23
5.
国際会議録
Sakai, Y. ; Matsugucbi, M. ; Takasbima, Y.
出版情報:
Chemical sensors IV : proceedings of the symposium . pp.371-380, 1999. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
99-23
6.
国際会議録
Sadaoka, Y. ; Sakai, Y. ; Yamada, M.
出版情報:
Proceedings of the Symposium on Chemical Sensors II . pp.81-88, 1993. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
1993-7
7.
国際会議録
Sakai, Y. ; Hotta, H. ; Hamada, T. ; Ito, H. ; Ozawa, T.
出版情報:
Amorphous silicon technology 1991 : symposium held April 30-May 3, 1991, Anaheim, California, U.S.A. . pp.197-202, 1991. Pittsburgh, Pa.. Materials Research Society
シリーズ名:
Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号:
219
8.
国際会議録
Yamada, N. ; Ventzek, P.L.G. ; Sakai, Y. ; Tagashira, H.
出版情報:
Proceedings of the Symposium on Process control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing . pp.575-587, 1995. Pennington, NJ. Electrochemical Society
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
95-2