1.

国際会議録

国際会議録
Mizutani, K. ; Momota, M. ; Aoai, T. ; Yagihara, M.
出版情報: Microlithography 1999 : advances in resist technology and processing XVI : 15-17 March 1999, Santa Clara, California.  pp.518-526,  1999.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3678
2.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Amenomori, M. ; Cao, Z. ; Ding, L.K. ; Feng, Z.Y. ; Hibino, K. ; Hotta, N. ; Huang, Q. ; Huo, A.X. ; Jia, L.K. ; Jiang, G.Z. ; Jiao, S.Q. ; Kajino, F. ; Kasahara, K. ; Labaciren ; Mei, D.M. ; Meng, L. ; Meng, X.R. ; Mimaciren ; Mizutani, K. ; Mu, J. ; Nanjo, H. ; Nishizawa, M. ; Nusang ; Oguro, A. ; Ohnishi, M. ; Ohta, I. ; Ouchi, T. ; Ren, J.R. ; Saito, To. ; Sakata, M. ; Shi, Z.Z. ; Shibata, M. ; Shirai, T. ; Sugimoto, H. ; Sun, X.X. ; Tai, A. ; Taira, K. ; Tan, Y.H. ; Tateyama, N. ; Torii, S. ; Wang, H. ; Wen, C.Z. ; Yamamoto, Y. ; Yao, X.Y. ; Yu, G.C. ; Yuan, P. ; Yuda, T. ; Zeng, J.G. ; Zhang, C.S. ; Zhang, H.M. ; Zhang, L. ; Zhasang ; Zhaxiciren ; Zhou, W.D.
出版情報: NASA Technical Reports.  pp.1-19,  1993.  National Aeronautics and Space Adminstration