1.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Lee, S.K. ; Atkinson, N.M.
出版情報: 2002 SAE world congress : technical paper.  2002.  Warrendale, Penn..  Society of Automotive Engineers
シリーズ名: Society of Automotive Engineers technical paper series
シリーズ巻号: 2002
2.

国際会議録

国際会議録
Gu, Y. ; Zhang, A. ; Yu, Z. ; Cao, W. ; Chen, S. ; Sturtevant, J.L. ; Lee, S.K.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVI.  Part Two  pp.636-645,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4689