1.

国際会議録

国際会議録
Siemieniec, R. ; Niedermostheide, F.-J. ; Schulze, H.-J. ; Sudkamp, W. ; Kellner-Werdehausen, U. ; Lutz, J.
出版情報: High purity silicon VIII : proceedings of the international symposium.  pp.369-384,  2004.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-05
2.

国際会議録

国際会議録
Niedernostheide, F.-J. ; Schulze, H.-J. ; Kellner-Werdehausen, U. ; Frohnmeyer, A. ; Wachutka, G.
出版情報: Crystalline defects and contamination: their impact and control in device manufacturing III : DECON 2001 : proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 2001, Nuremberg, Germany.  pp.112-120,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-29