1.

国際会議録

国際会議録
Lukasiak, L. ; Kamieniecki, E. ; Jakubowski, A. ; Ruzyllo, J.
出版情報: Silicon-on-insulator technology and devices XI : proceedings of the international symposium.  pp.425-430,  2003.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2003-5
2.

国際会議録

国際会議録
Roman, P. ; Lee, D.D. ; Wang, J. ; Mumbauer, P. ; Grant, R. ; Tower, J. ; Kamieniecki, E. ; Lukasiak, L. ; Ruzyllo, aud J.
出版情報: Fundamental gas-phase and surface chemistry of vapor-phase deposition II and process control, diagnostics, and modeling in semiconductor manufacturing IV : proceedings of the international symposium.  pp.207-212,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-13