1.

国際会議録

国際会議録
Rubio, J. Emiliano ; Jaraiz, Martin ; Bailon, Luis, A. ; Barbolla, Juan ; Lopez, M. Jose ; Gilmer, George H.
出版情報: Advanced interconnects and contact materials and processes for future integrated circuits : symposium held April 13-16, 1998, San Francisco, California, U.S.A..  pp.127-,  1998.  Warrendale, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 514
2.

国際会議録

国際会議録
Jaraiz, Martin ; Pelaz, Lourdes ; Rubio, Emiliano ; Barbolla, Juan ; Gilmer, George H. ; Eaglesham, David J. ; Gossmann, Hans J. ; Poate, John M.
出版情報: Silicon front-end technology--materials processing and modelling, symposium held April 13-15, 1998, San Francisco, California, U.S.A..  pp.43-,  1998.  Warrendale, Pa..  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 532