1.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Lin, K.Y. ; Hwang, J.R. ; Chang, S.H. ; Fung, C.P. ; Chang, J.M.
出版情報: 2006 SAE world congress : technical paper.  2006.  Warrendale, Penn..  Society of Automotive Engineers
シリーズ名: Society of Automotive Engineers technical paper series
シリーズ巻号: 2006
2.

国際会議録

国際会議録
Lee, K.M. ; Fan, C.W. ; Hwang, J.R. ; Liu, C.C. ; Hung, K.C.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVI.  Part Two  pp.1007-1016,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4689