1.

国際会議録
国際会議録
1. Kinetics of Pt Silicide Formation Studied by Spectral Ellipsometry
Schwarz, R. ; Dittrich, A. ; Zhou, S. M. ; Hundhausen, M. ; Ley, L. ; Chen, L. Y. ; Woerle, D. ; Manke, C. ; Schulz, M.
出版情報: Rapid thermal and integrated processing VI : symposium held April 1-4, 1997, San Francisco, California, U.S.A..  pp.259-,  1997.  Pittsburgh, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 470
2.

国際会議録
国際会議録
2. Modelling the Evolution of Ellipsometric Data During the Thermally Induced Pt-Silicide Formation: Activation Energies and Prefactors
Ley, L. ; Stark, T. ; Hundhausen, M. ; Gruenleitner, H.
出版情報: In situ process diagnostics and modelling : symposium held April 6-7, 1999, San Francisco, California, U.S.A..  pp.145-,  1999.  Warrendale, PA.  MRS - Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 569