1.

国際会議録
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1. EFFECTS OF PRE-GATE OXIDATION INTRINSIC GETTERING UPON THIN GATE OXIDE INTEGRITY IN HIGH CARBON CONTENT Cz Si
Hahn, S. ; Tung, C. Y. ; Lee, J. ; Tuomi, T. ; Partanen, J.
出版情報: Multilayers : synthesis, properties, and non-electronic applications : symposium held December 2-4, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.103-108,  1988.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 103
2.

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2. EFFECTS OF PRE-GATE OXIDATION CLEANING AND GETTERING UPON THE VERY THIN OXIDE INTEGRITY
Lee, J. ; Tung, C.Y. ; Hahn, S. ; Chiao, P.
出版情報: Materials issues in silicon integrated circuit processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A..  pp.499-504,  1986.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 71
3.

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3. FORMATION OF A LOW THERMAL DONORS CONCENTRATION LAYEER IN Cz Si WAFER DURING 450 C/64hr ANNEALING
Hahn, S.
出版情報: Oxygen, carbon, hydrogen, and nitrogen in crystalline silicon : symposium held December 2-5, 1985, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.181-186,  1986.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 59
4.

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4. EFFECTS OF THERMAL DONOR GENERATION AND ANNIHILATION UPON OXYGEN PRECIPITATION
Hahn, S. ; Shates S. ; Stein, H.J.
出版情報: Oxygen, carbon, hydrogen, and nitrogen in crystalline silicon : symposium held December 2-5, 1985, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.287-292,  1986.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 59
5.

国際会議録
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5. EFFECTS OF CARBON CONCENTRATION UPON OXYGEN PRECIPITATION IN CZ Si
Hahn, S. ; Arst, M. ; Ritz, K. N. ; Shatas, S. ; Stein, H. J. ; Rek, Z. U. ; Tiller, W. A.
出版情報: Defects in electronic materials : symposium held November 30-December 3, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.201-204,  1988.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 104
6.

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6. EFFECTS OF PRE-GATE OXIDATION INTRINSIC GETTERING UPON THIN GATE OXIDE INTEGRITY IN HIGH CARBON CONTENT Cz Si
Hahn, S. ; Tung, C. Y. ; Lee, J. ; Tuomi, T. ; Partnanen, J.
出版情報: SiO[2] and its interfaces : symposium held November 30-December 5, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.103-108,  1988.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 105
7.

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7. OXYGEN PRECIPITATION STUDIES FOR N-TYPE AND EPITAXIAL SILICON SUB-STRATES DURING SIMULATED CMOS CYCLES BY SYNCHROTRON SECTION TOPOGRAPHY
Tuomi, T. ; Hahn, S. ; Tilli, M. ; Wong, C.-C.D. ; Borland, O.
出版情報: Materials issues in silicon integrated circuit processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A..  pp.47-52,  1986.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 71
8.

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8. INTRINSIC GETTERING OF IRON IN SILICON: A QUANTITATIVE STUDY
Colas, E.G. ; Weber, E.R. ; Hahn, S.
出版情報: Materials issues in silicon integrated circuit processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A..  pp.13-20,  1986.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 71
9.

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9. EFFECTIVNESS OF CVD THIN FILM BACKSIDE GETTERING AND ITS INTERACTION WITH INTRINSIC GETTERING
Wong, C.-C ; Hahn, S. ; Ponce, F.A. ; Rek, Z.U.
出版情報: Materials issues in silicon integrated circuit processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A..  pp.33-38,  1986.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 71
10.

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10. INTERACTION BETWEEN DEPOSITED FILM EXTRINSIC GETTING AND INTRINSIC GETTING IN CZ SILICON DURING SIMULATED CMOS PROCESS CYCLES
Hahn, S. ; Wong, C.C. -D. ; Ponce, F.A. ; Rek, Z.U.
出版情報: Oxygen, carbon, hydrogen, and nitrogen in crystalline silicon : symposium held December 2-5, 1985, Boston, Massachusetts, U.S.A..  pp.353-358,  1986.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 59