1.

国際会議録

国際会議録
Poyai, A. ; Simoen, E. ; Claeys, C. ; Huber, A. ; Graef, D. ; Gaubas, E.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.694-706,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2
2.

国際会議録

国際会議録
Poyai, A. ; Simoen, E. ; Claeys, C. ; Huber, A. ; Graef, D. ; Gaubas, E.
出版情報: Semiconductor silicon 2002 : proceedings of the ninth International Symposium on Silicon Materials Science and Technology.  pp.694-704,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-2