1.

国際会議録

国際会議録
Schuize, H.-J. ; Frohnmeyer, A. ; Niedernostheide, F.-J. ; Hille, F. ; Ttitto, P. ; Pavelka, T. ; Wachutka, U.
出版情報: High Purity Silicon VI : proceedings of the sixth International Symposium.  pp.414-424,  2000.  Bellingham, Wash..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2000-17
2.

国際会議録

国際会議録
Niedernostheide, F.-J. ; Schulze, H.-J. ; Kellner-Werdehausen, U. ; Frohnmeyer, A. ; Wachutka, G.
出版情報: Crystalline defects and contamination: their impact and control in device manufacturing III : DECON 2001 : proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 2001, Nuremberg, Germany.  pp.112-120,  2001.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2001-29