1.

国際会議録
国際会議録
1. Comparison of Chlorine Based In Situ Etching of 4H SiC Substrates
M.F. MacMillan ; M.J. Loboda ; J.W. Wan ; G.Y. Chung ; E.P. Carlson ; M.J. Spaulding ; D. Deese
出版情報: Silicon carbide and related materials 2006 : ECSCRM 2006, Proceedings of the 6th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials, Newcastle upon Tyne, UK, September 2006.  pp.69-72,  2007.  Stafa-Zuerich.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 556-557
2.

国際会議録
国際会議録
2. Scaling of Chlorosilane SiC CVD to Multi-Wafer Epitaxy System
J.W. Wan ; M.J. Loboda ; M.F. MacMillan ; G.Y. Chung ; E.P. Carlson ; V.M. Torres
出版情報: Silicon carbide and related materials 2006 : ECSCRM 2006, Proceedings of the 6th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials, Newcastle upon Tyne, UK, September 2006.  pp.145-148,  2007.  Stafa-Zuerich.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 556-557