1.

国際会議録
国際会議録
1. Patterning of diamond films by RIE and its MEMS applications
Ding,G. ; Yao,J. ; Yu,A. ; Zhao,X. ; Wang,L. ; Shen,T.
出版情報: Micromachining and microfabrication process technology VI : 18-20 September 2000, Santa Clara, USA.  pp.451-461,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4174
2.

国際会議録
国際会議録
2. Dynamic actuation behavior of NiTi/Si diaphragm micropump
Xu,D. ; Wang,L. ; Ding,G. ; Zhou,Y. ; Yu,A. ; Cheng,X. ; Chen,J. ; Cai,B.
出版情報: Micromachining and microfabrication process technology VI : 18-20 September 2000, Santa Clara, USA.  pp.324-330,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4174
3.

国際会議録
国際会議録
3. Orthogonal method for processing of SU-8 resist in UV-LIGA
Liu,J. ; Zhu,J. ; Ding,G. ; Zhao,X. ; Cai,B.
出版情報: Micromachining and microfabrication process technology VII : 22-24 October 2001, San Francisco, USA.  pp.462-466,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4557
4.

国際会議録
国際会議録
4. CVD diamond microhinge for MOEMS applications
Ding,G. ; Zhao,X. ; Yao,X. ; Shen,T.
出版情報: Instruments for optics and optoelectronic inspection and control, 8-10 November 2000, Beijing, China.  pp.61-64,  2000.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4223
5.

国際会議録
国際会議録
5. PMMA deep etching by O2RIE
Yu,A. ; Ding,G. ; Guo,X. ; Li,C. ; Mao,H. ; Ni,Z.
出版情報: Fourth International Conference on Thin Film Physics and Applications : 8-11 May 2000, Shanghai, China : proceedings.  pp.852-855,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4086