1.

国際会議録
国際会議録
1. Impurity Activation in N+ Ion-Implanted 6H-SiC with Pulsed Laser Annealing Method
Eryu, O. ; Aoyama, K. ; Abe, K. ; Nakashima, K.
出版情報: Silicon carbide--materials, processing and devices : symposium held November 27-29, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A..  2001.  Warrendale, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 640
2.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
2. A Silicon Micromachined Gyroscope and Accelerometer for Vehicle Stability Control System.
Nagao, M. ; Watanabe, H. ; Nakatani, E. ; Shirai, K. ; Aoyama, K.
出版情報: 2004 SAE world congress : technical paper.  2004.  Warrendale, Penn..  Society of Automotive Engineers
シリーズ名: Society of Automotive Engineers technical paper series
シリーズ巻号: 2004