可搬型超高真空試料搬送導入装置の開発とその応用
Development of a Portable Ultrahigh-Vacuum Sample Transfer Vessel and Its Application
- 著者名:
Eiichi KOBAYASHI 小林 英一 Shukichi TANAKA 田中 秀吉 Toshihiro OKAJIMA 岡島 敏浩 - 掲載資料名:
- 真空 : journal of the Vacuum Society of Japan
- 発行年:
- 2017
- 巻:
- 60
- 号:
- 4
- 開始ページ:
- 139
- 終了ページ:
- 141
- 総ページ数:
- 3
- 出版情報:
- 東京: 真空協会
- ISSN:
- 18822398
- 言語:
- 日本語
- 資料種別:
- 学術雑誌
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