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微細加工で作るフィールドエミッタアレイ - 新しい応用に向けて -
Micro-fabricated Field Emitter Arrays - For New Applications -

著者名:
掲載資料名:
真空 : journal of the Vacuum Society of Japan
発行年:
2017
巻:
60
号:
2
開始ページ:
47
終了ページ:
54
総ページ数:
8
出版情報:
東京: 真空協会
ISSN:
18822398
言語:
日本語
資料種別:
学術雑誌

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