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電池駆動式イオンポンプを適用した試料搬送導入装置の性能
Performance of a Sample Transfer Vessel with a Battery-Driven Ion Pump

著者名:
Eiichi KOBAYASHI
小林 英一
Shukichi TANAKA
田中 秀吉
Toshihiro OKAJIMA
岡島 敏浩
さらに 1 件
掲載資料名:
真空 : journal of the Vacuum Society of Japan
発行年:
2016
巻:
59
号:
7
開始ページ:
192
終了ページ:
195
総ページ数:
4
出版情報:
東京: 真空協会
ISSN:
18822398
言語:
日本語
資料種別:
学術雑誌

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