Recent Developments of Cluster Ion Beam - From Nano-fabrication to Analysis of Bio-materials - — クラスターイオンビーム技術の最近の進展 - ナノ加工からバイオ材料評価まで - | 東京工業大学附属図書館文献データベース

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クラスターイオンビーム技術の最近の進展 - ナノ加工からバイオ材料評価まで -
Recent Developments of Cluster Ion Beam - From Nano-fabrication to Analysis of Bio-materials -

著者名:

藤井麻樹子

さらに 3 件

掲載資料名:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan

発行年:

2016

巻:

59

号:

5

開始ページ:

113

終了ページ:

120

総ページ数:

8

出版情報:

東京: 真空協会

ISSN:

18822398

言語:

日本語

資料種別:

学術雑誌

詳細

TDL書誌ID:	ZA00066506
論文注記:	小特集:クラスターイオンビーム. 解説

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