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ターボ分子ポンプの仕組みと選定について
The New Generation in Turbo Molecular Pump Engineering-Turbovac i and How to Select TMPs

著者名:
掲載資料名:
真空 : journal of the Vacuum Society of Japan
発行年:
2015
巻:
58
号:
12
開始ページ:
446
終了ページ:
450
総ページ数:
5
出版情報:
東京: 真空協会
ISSN:
18822398
言語:
日本語
資料種別:
学術雑誌

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