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高機能 DLC 膜コーティング技術と応用展開
Coating Technology of High-Performance DLC Films and Industrial Application

著者名:
掲載資料名:
真空 : journal of the Vacuum Society of Japan
発行年:
2015
巻:
58
号:
6
開始ページ:
215
終了ページ:
220
総ページ数:
6
出版情報:
東京: 真空協会
ISSN:
18822398
言語:
日本語
資料種別:
学術雑誌

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