Large-Area Deposition Technology of High Purity Organic Thin Film by Gas Flow Deposition — ガスフロー蒸着法による高純度有機薄膜の大面積成膜技術 | 東京工業大学附属図書館文献データベース

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ガスフロー蒸着法による高純度有機薄膜の大面積成膜技術
Large-Area Deposition Technology of High Purity Organic Thin Film by Gas Flow Deposition

著者名:

安達千波矢

さらに 1 件

掲載資料名:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan

発行年:

2015

巻:

58

号:

3

開始ページ:

79

終了ページ:

85

総ページ数:

7

出版情報:

東京: 真空協会

ISSN:

18822398

言語:

日本語

資料種別:

学術雑誌

詳細

TDL書誌ID:	ZA00066506
論文注記:	小特集:真空プロセスで創る有機デバイス研究・開発の最前線. 解説

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